荷兰bronkhorst FF-A500型压力控制器技术参数
荷兰bronkhorst FF-A500型压力控制器适用于在真空和 17 bar(a) 之间的工作压力下精确测量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之间的流量范围。该仪器将基于毛细管 MEMS 技术的快速稳定的热质量流量传感器与精确且经过验证的旁路结构相结合。
荷兰bronkhorst FF-A500型压力控制器技术参数如下：
流量范围（可提供中间范围）分钟。
最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min
（以 N 2 计）
压力范围PA：0...17 bar(a)
PS：不可用
BtO：FF-C10：不可用 / FF-C11：0...17 bar(a)
精度（包括线性度）（基于实际校准）PA：±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 )；
PS：±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 );
BtO：高达 ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 )；
对于其他气体增加转换不确定性；查看多气体表；
重复性流量传感器：< ±0.2% Rd；
压力传感器：< ±0,2% FS
调节比PS：1:50
PA：1:500
BtO：高达 1:1000
最大限度。运营压力16巴克
多气体/多范围22 种气体以及这些气体的任何混合物的嵌入式气体数据
稳定时间（受控，典型）< 150 毫秒
长期稳定性< 0.5% 满量程 3 年；然后 < 0,2% FS 每年
控制稳定性< ± 0,1% FS（1 l n /min N 2 的典型值）
工作温度0...50摄氏度
安装任意位置，姿态敏感度可忽略不计
温度敏感性流量传感器：零 0,0015% FS/oC；量程 0.03% Rd/oC；
压力传感器：零 0.16 mbar/oC；量程 0,05% Rd/oC
温度精度± 0,2 oC（仪器本体温度）
精度压力传感器±0,5% 满量程
压感标准：< 0,15% Rd/bar 典型 N 2；
带压力校正：< 0,02% Rd 典型值 N 2
泄漏完整性，舷外经测试 < 2 x 10 -9 mbar l/s He
通过关闭的阀门泄漏典型值 < 1 x 10 -4 mbar·l/s He
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